금상·특별상·개인특별상 휩쓸어

포스텍(포항공과대학교·POSTECH) 연구진의 나노기술 특허가 국제 발명대회서 금상과 특별상, 개인특별상을 휩쓸어 관심을 집중시키고 있다.

포스텍은 이규철 신소재공학과 교수가 이끄는 반도체 나노막대 연구단이 최근 스위스 제네바에서 열린 '제36회 2008 제네바 국제 발명·신기술 전시회'에 '나노 디바이스 및 이를 포함하는 트랜지스터의 제조방법' 특허를 출품해 금상을 수상했다고 20일 밝혔다.

이 특허는 촉매나 깎아내는 방식의 광식각 공정을 사용하지 않아서 나노 구조물의 오염 및 표면 손상이 전혀 없는 우수한 반도체 나노소재 및 소자를 대량으로 생산할 수 있는 기술이다.

연구팀 관계자는 "이 기술은 기존의 실리콘 기반 공정을 그대로 사용, 적은 생산비용으로 초고집적 반도체 나노소자, 전계방출 평판디스플레이, 광결정 등을 효율적으로 구현할 수 있어 현지 과학기술인들로부터 호평을 받았다"고 말했다.

한편 이 대회에 참석한 러시아 과학기술부는 이규철 교수팀이 발표한 나노 기술의 독창성과 우수성을 인정해 대회장에서 특별상을 수여했다. 또 이 기술의 발명자 중 한 명인 포스텍 박사과정 홍영준 씨는 개인적인 연구 성과를 인정받아 바우만 모스크바 국립공대 학장의 개인특별상을 수상하기도 했다.

이규철 교수는 "이 기술은 나노구조물의 위치, 크기와 모양을 매우 쉽게, 자유자재로 조절할 수 있는 반도체 제조의 원천기술로서, 기존의 광식각공정의 한계를 극복할 수 있다"며 "향후 고품질, 고집적의 광소자와 전자소자 제조 등 다양한 응용분야에 유용하게 활용될 수 있을 것"이라고 밝혔다. 이 연구결과는 신소재 분야의 세계적 학술지 '어드밴스드 머티리얼스(Advanced Materials)'지에 출판될 예정이다.

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